关于真空泵的一个问题

3dmaxmin

有台真空炉停了差不多两个月，设备里面始终保持真空。重新开始使用以后，发现连接扩散泵的维持泵有很多水汽出来。（此时扩散泵还在预热，没有工作）

到按照设备的设置到一定真空度后连接扩散泵的真空阀打开机械泵组开始预抽扩散泵，这个时候设备内的真空度突然下降，从原先的3Pa升到50Pa左右，然后就这样来开闭阀门和抽真空。过了很长一段时间后设备里面的真空度才打到扩散泵阀门打开的真空度，真空也开始正常了，能抽到0.02Pa左右。

只后几天这样的状况消失了，但是最近几天又出现了。我怀疑是不是扩散泵里面的冷却管路漏水了。麻烦各位老师给帮忙判断一下到底是什么原因？已经可以采用什么方法判定问题。


谢谢

zhoiw

拆开看看 就清楚啦 不知道是漏水还是冷凝水

cuantiaoyu

扩散泵冷却水管即使泄露应该也不会进入泵体内, 就更不会引起维持泵的问题, 可能的原因:
1. 维持泵存在泄漏
2. 扩散泵上端冷阱的检漏

chm0406

建议lZ咨询厂家，多谢！问题解决后，欢迎给予正解！

3dmaxmin

chm0406 发表于 2013-6-4 22:16
建议lZ咨询厂家，多谢！问题解决后，欢迎给予正解！

没有正解。清炉并用了2次后水汽消失了，而且真空度也没问题。但是始终有疑问的是之前炉膛没加热就有这种情况，应该不是炉膛的问题。更何况我炉子停用的时候炉膛里面是保持真空的，不会有太多水汽进去。

为了保险顺便更换了维持泵的真空油，因为炉子用的少，差不多5年没换过维持泵的真空油，换下来的油的确够脏的（国产维持泵不知道该用什么牌号的真空油，给加了N62）后来又做了十几炉都没问题。

另外3楼的老师为什么这么确定扩散泵不会漏水呢？能告诉我判断的原因吗？我对扩散泵的冷却管路的结构不是非常了解。