ZnO/TiO2 复合薄膜的表面形貌分析及光散射特性研究

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【文章名称】：ZnO/TiO2 复合薄膜的表面形貌分析及光散射特性研究
【发表期刊】：《中国激光》  2011年2期
【作者】：南京理工大学理学院信息物理与工程系  崔骥， 刘晔，李永强，等
【摘要】：采用离子源辅助电子束蒸发的方法, 制备了以Si 为基底, 以T iO2 为缓冲层的ZnO 薄膜。通过进一步保温
处理, 在不同温度条件下进行退火处理得到了不同的样品薄膜, 用于表面形貌分析和光散射特性实验研究。结果
表明, 退火温度对样品表面粗糙度、晶粒大小、分形维数等参数具有显著的影响, 通过表面形貌分析有助于更好地
理解薄膜晶粒生长机制和改进薄膜制备工艺; 不同薄膜样品的反射光强度和偏振度对不同偏振光具有不同的角度
响应特征, 且与薄膜表面统计特性具有一定的关联性, 薄膜的光散射特性研究对研究弱散射随机粗糙表面的退偏
作用具有一定的参考价值。
【关键词】：薄膜; 表面形貌; 分形理论; 光散射特性