有关离子渗硼的一些问题？？

潘明明

最近在做离子渗硼，所用渗剂为硼酸三甲脂，氩气为载气，氢气为载气和反应气体，利用硼酸三甲脂的挥发性，氩气氢气的流量比为5：1，氢气0.1L/min，硼酸三甲脂0.01L/min，处理温度为950℃，处理时间是2H，处理材料为低碳钢或工业纯铁，结果是处理前后表面硬度没有太大变化，均为维氏硬度250左右，表面有碳沉积.请各位前辈们指导！

潘明明

补充，真空度为85pa左右。