真空炉抽空遇到的问题

ulvacysj

我说两句：
1、阀开后两室的真空不一样是正常的。其一，两室要有各自的规管，放的位置影响造成的；其二，使用的是一套真空机组，虽然同时抽两个室但走的不同的抽气口，必定出现一口多抽气另一口不走气，因此真空度不一致是绝对的。
2、建议操作：两室各独立抽（分时抽）或充气，工件准备冷却时先打开连通阀（双室炉都有），再开阀，不用看真空度。

qihang04

ulvacysj 发表于 2011-12-22 11:32
我说两句：
1、阀开后两室的真空不一样是正常的。其一，两室要有各自的规管，放的位置影响造成的；其二，使 ...

请问联通阀是不是热室和冷室之间的门。

hongqk

问题就是热室的500Pa与冷热室的500Pa不是同一个压力，从你打开热室阀后，冷室与热室一起抽时，冷却真空度回到了2400Pa，这说明：要么热室显示的500Pa实际可以是大于2400Pa，或者冷室显示的2400Pa低于500Pa，怎么判断呢，在同一个空间出现了两个压力数据，信哪一个？或两个都不准。所以在抽热室的时候，应该启动罗茨泵，将热室的压力抽得更低才可以避免。当然还有一方法判断，只用机械泵抽，观察罗茨泵的转子转动情况，如果罗茨泵在气流的带动下由转到不转动了，这时的压力应该在600Pa到800Pa左右。