真空回火炉的配置问题```

johnny9701 · 发表于 2012-1-19 12:11:05

一般都是1个机械泵，一个罗茨泵，一个扩散泵

如果省去中间个罗茨泵，可行吗？？

ylyang · 发表于 2012-1-19 12:46:44

不行！扩散泵本身不具备抽气能力，只是靠油雾吸气降低真空度，其启动真空度也在0.01-0.09Pa的大致范围，如真空度过高，相应的氧气含量会高，则直接会把扩散泵油氧化，变黑，没有任何降低真空度的能力，那就需要更换扩散泵油了。机械泵仅能抽到1--10Pa的级别，只有配上罗茨泵才能抽到0.1-0.01Pa的级别。

johnny9701 · 发表于 2012-1-19 12:52:47

ylyang 发表于 2012-1-19 12:46
不行！扩散泵本身不具备抽气能力，只是靠油雾吸气降低真空度，其启动真空度也在0.01-0.09Pa的大致范围，如真 ...

请问 0.01~0.09 PA 是什么概念？相当于1.0乘 10 几次方？

本人不才，请教

chm0406 · 发表于 2012-1-19 22:13:06

本帖最后由 chm0406 于 2012-1-19 22:13 编辑

我也来请教个问题，去掉扩散泵可以当回火炉用吗？不可以的话，会出现什么故障？

johnny9701 · 发表于 2012-1-20 13:26:09

chm0406 发表于 2012-1-19 22:13
我也来请教个问题，去掉扩散泵可以当回火炉用吗？不可以的话，会出现什么故障？

客户对颜色没有要求，那完全可以``我们另外台就是这样，不过出来颜色不好看``发蓝

真空炉设备 · 发表于 2012-1-20 20:46:47

可以把罗茨泵去掉但是机械泵要用进口的最好是德国莱宝的

真空炉设备 · 发表于 2012-1-20 20:47:33

把扩散泵去掉也行但是只能回常规的材料

喜欢上岸的鱼 · 发表于 2012-1-21 11:43:05

看零件对真空度的要求了，一般只要滑阀泵和罗茨泵就够用了。

chm0406 · 发表于 2012-1-21 12:39:11

听真空炉设备厂家说，真空会火炉温度的压强压力要求较高。一般在-3左右。

johnny9701 · 发表于 2012-1-21 15:23:57

本帖最后由 johnny9701 于 2012-1-21 17:40 编辑

winter2234296 发表于 2012-1-20 20:46
可以把罗茨泵去掉但是机械泵要用进口的最好是德国莱宝的

莱宝的一个卖3，4万``我一套机械泵+扩散泵+罗茨泵才几万啊

真空炉设备 · 发表于 2012-1-22 19:46:07

没错是不划算所以最好不要不用罗茨泵

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