真空炉的真空系统配置标准

feijuan · 发表于 2012-4-21 09:10:27

请问各位，真空炉的真空系统配置是以什么为标准，比如说多大的前级泵配多大的罗茨泵配多大的扩散泵等。

zhoiw · 发表于 2012-5-4 16:18:39

这是要计算相当复杂的计算经验数据还是有的标准就没有了

feijuan · 发表于 2012-5-5 13:09:41

zhoiw 发表于 2012-5-4 16:18
这是要计算相当复杂的计算经验数据还是有的标准就没有了

哪能不能把你的经验数据分享一下！谢谢！

zhengdong · 发表于 2012-5-5 18:55:58

国产的真空炉差不多配的机组大些

蓝梦飞 · 发表于 2012-5-10 08:40:15

很简单，去找卖泵的厂家，他们都会给你参数。还有，这个配置也不是一定得，比如你有效工作区域2米的炉子如果真空度要求-5，那你扩散泵可能就得需要1200的。如果-4，那么1000的就能搞定。所以不要把这个数据看的那么死。主要的是根据你炉体的体积，以及你的真空度要求算来的。在真空设计手册上都有详细的说明。谢谢。

feijuan · 发表于 2012-5-11 11:28:48

谢谢你！我得好好学习一下

西格里 · 发表于 2012-5-11 12:51:25

本帖最后由西格里于 2012-5-11 12:52 编辑

抽速决定不了真空度；
重要的考虑因素除了炉膛体积以外，主要是工件和工艺的脱气量，
如果仅考虑load lock的问题，抽速大小无非是工艺准备时间长短的问题；
而脱气量对于抽速的要求就是能不能实现工艺设定的问题了。自己慢慢理解吧

宋景龙 · 发表于 2015-4-2 19:23:46

国外泵厂，他给你计算，自己计算复杂，靠经验

feijuan · 发表于 2015-4-14 09:32:24

西格里发表于 2012-5-11 12:51
抽速决定不了真空度；
重要的考虑因素除了炉膛体积以外，主要是工件和工艺的脱气量，
如果仅考虑load loc ...

谢谢，一直想找个参照标准，但是发现大家都用经验

feijuan · 发表于 2015-4-14 09:35:00

宋景龙发表于 2015-4-2 19:23
国外泵厂，他给你计算，自己计算复杂，靠经验

恩，这些也是时间积累的过程，我得好好向你们请教

宋景龙 · 发表于 2015-4-15 19:16:45

你说出有效区，我就能估计配多大泵，但烧结炉，钎焊炉相对大些，有放气量。

bojan · 发表于 2017-1-22 08:41:04

蓝梦飞发表于 2012-5-10 08:40
很简单，去找卖泵的厂家，他们都会给你参数。还有，这个配置也不是一定得，比如你有效工作区域2米的炉子如 ...

师傅这个帖子能不能把单位标示一下，2m3有效工作区的炉子抽到-5mbar 数量级真空只要1200 l/s抽速的扩散泵么？

anjun7107 · 发表于 2017-10-28 16:56:05

有效区域配置多大的真空炉，这与工艺要求有很大的关系，有效空间尺寸，最低真空度如何计算。那么炉体的密封性，一般的考虑泄露率的大小是多少，怎么计算的？

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