请教扩散泵抽不上真空

Shiryu · 发表于 2012-7-23 09:14:29

请教一个问题，SECO的真空淬火炉，每次扩散泵一打开真空度就升上去了。机械泵和罗茨泵的前级管路应该没问题，他们能抽到0.01，只要扩散泵启动，真空度不将反升，导致主阀来回启动。测漏也测了，油也换了，请问可能是哪边的问题

congmingderen · 发表于 2012-7-23 09:49:56

正好前段时间也遇到这种问题。
排查方法：1.怀疑扩散泵或主阀气缸有泄漏；
2.炉腔有泄漏；
我们主阀来回切换，最后是发现真空炉炉腔有个位置有泄漏。

李晓敏 · 发表于 2012-7-23 10:00:49

那应该是泵体本身的原因，是不是密封圈坏了。

hitlinbo · 发表于 2012-7-23 19:52:46

首先考虑炉子本身漏不漏但是看你说机械泵都能抽下真空度建议不启动扩散泵先用机械泵抽了看看保压如何,如果没问题就说明扩散泵出问题了，气体回流速度大于抽气速度，泵里面的冷井工作正常吗？

蓝梦飞 · 发表于 2012-7-27 08:37:12

基本可以排除炉体本身不漏，楼主也说了。开两级泵都可以抽到0.01.但是不晓得这个数值是pa还是toor。因为1toor=133pa呢。你要是0.01toor那就是1.33pa。两级泵抽到如此那也是很好的数值了。故你的炉体是不漏的，问题还是出在你的扩散泵上。你开发阀门后，真空度不降反升。说明确实有漏。反复启动是因为扩散泵本身有一个启动的真空度要求。进口的国产的泵都有。真空度一般在2pa以内扩散泵才可以启动。所以你的真空度只要超过2pa以上，那这个高真空阀肯定就会关闭。所以你的问题出在高真空阀上。捡漏吧。真空氦气检漏。半小时搞定。谢谢！

Shiryu · 发表于 2012-7-27 10:59:41

呵呵，有这么多人回复啊。单位是mbar，我们扩散泵的启动压力是小于0.2mbar。前级管路有漏气，不过不是太严重，能通过泄漏测试的。退一步来说，不至于扩散泵启动以后完全抵消，甚至超过扩散泵的抽力。感觉扩散泵的抽力应该比两前级泵强至少2个数量级的吧，有点纳闷。弱弱的问一下，扩散泵主阀密封圈漏气的话是怎么个漏气法？扩散泵和炉膛，相对来说不是一个一体密闭的空间吗？谢谢

feijuan · 发表于 2012-7-28 16:50:19

密封圈漏气就是高阀和炉体或冷井连接处的密封圈坏了，会发生漏气，但也不至于在炉体和高阀连接处啊，你最好还是检查冷井和扩散泵连接处有没有漏气

Shiryu · 发表于 2012-7-31 16:05:22

feijuan 发表于 2012-7-28 16:50
密封圈漏气就是高阀和炉体或冷井连接处的密封圈坏了，会发生漏气，但也不至于在炉体和高阀连接处啊，你最好 ...

冷井和扩散泵连接处？不知道具体是哪部分...能帮我再解释一下吗？扩散泵内部的、？怎么检查？谢谢

蓝梦飞 · 发表于 2012-8-2 16:28:29

Shiryu 发表于 2012-7-31 16:05
冷井和扩散泵连接处？不知道具体是哪部分...能帮我再解释一下吗？扩散泵内部的、？怎么检查？谢谢

冷井和扩散泵连接处？不知道具体是哪部分...就是扩散泵和高真空阀之间有个通水的圆盘看到没呢。图片附上。

Shiryu · 发表于 2012-8-6 12:02:59

蓝梦飞发表于 2012-8-2 16:28
冷井和扩散泵连接处？不知道具体是哪部分...就是扩散泵和高真空阀之间有个通水的圆盘看到没呢。图片附上。 ...

谢谢。了解了

zhoiw · 发表于 2012-8-7 15:27:26

主阀气缸杆密封地方有问题当缸杆在不同的位置密封情况不一样初步判断主阀气缸杆下端密封面被破坏了

hitlinbo · 发表于 2012-8-8 18:55:20

Shiryu 发表于 2012-7-27 10:59
呵呵，有这么多人回复啊。单位是mbar，我们扩散泵的启动压力是小于0.2mbar。前级管路有漏气，不过不是太严重 ...

楼主你错了，泄露对真空是非常可怕的，1m3泄露的空气进入真空腔，会根据压力大小膨胀的，1托拉压力气体进入1mm Hg的压力时会膨胀 760倍！，你泵就算神仙也扛不住啊。。

chanown · 发表于 2012-8-9 11:53:30

会不会是油扩的加热功率偏高或偏低？？

congmingderen · 发表于 2012-8-10 16:09:21

楼主的问题原因找到没有？如果解决了，要记得分享一下哟。

Shiryu · 发表于 2012-8-10 17:12:16

congmingderen 发表于 2012-8-10 16:09
楼主的问题原因找到没有？如果解决了，要记得分享一下哟。

没有找到，也不知道怎么就好了

，不过效率没以前好了....不敢拆扩散泵，怕回装更漏气...

congmingderen · 发表于 2012-8-13 08:50:25

Shiryu 发表于 2012-8-10 17:12
没有找到，也不知道怎么就好了，不过效率没以前好了....不敢拆扩散泵，怕回装更漏气...

可以拆的，注意准备一些密封圈备件。不知道你们是哪种扩散泵？

cuckoo · 发表于 2012-9-9 13:46:34

本帖最后由 cuckoo 于 2012-9-9 13:47 编辑

扩散泵的冷却效果可能不是太好了，用风扇一吹就好，不过不是长久之计，还没有找到解决办法。检漏也没有问题。

炉子制造者 · 发表于 2012-10-12 16:09:53

可以将扩散泵部分拆开清洗一下，怀疑硅油不干净了

xiaowei181 · 发表于 2012-10-12 17:01:29

我们扩散泵直接不用..

热处理老宋 · 发表于 2012-10-12 17:40:37

基本是管路及接头有问题，仔细查一下。

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