求教真空炉真空度的问题

guyuanhu

    我这边有一台外热式真空炉，扩散泵用的冷井冷却，加热温度为600℃，加热过程中真空度最多能达到1*10-3Pa(间断通液氮）,保温2小时左右能达到8*10-4Pa（间断通液氮）,降温时能达到8*10-5Pa（不用通液氮）.已按厂家提供的工艺进行烘炉，目前此炉用了3炉次，但加热过程真空度达不到工艺要求（至少7*10-4Pa),请问高手此为何原因，另外是否有提高加热过程中真空度的方法。
   

zhoiw

你的真空指标确实比较高，建议用进口泵，另 压升率一定要好 才可以

guyuanhu

zhoiw 发表于 2013-8-8 08:15
你的真空指标确实比较高，建议用进口泵，另 压升率一定要好 才可以

谢谢你给的建议。～～～～～～～～～～

hackyue

你这个情况看起来好像是炉体内含水分引起的，加热过程中水分气化，造成真空度下降

xinyusky0622

建议1对炉壳整体进行漏率监测，2对整个加热室进行空炉抽真空，升温烘炉反复多次。如果真空度没法达到指标，建议对照设备使用的扩散泵说明书，看看能否满足要求，如果不行，就要换进口泵了。

yanwei1666

我非常同意5楼意见。