求助扩散泵问题

晶格畸变 · 发表于 2010-4-13 21:34:24

真空气淬。炉子最近发现压升率比较高，3.0 -2E 很短的时间就掉到5.0 -1E。然后开始找问题。发现扩散泵油镜的油位很低约 5分之1高度。但是分析一下，我炉子的高真空能进-2，压升率高就是炉子有漏啊。经过试验，我把炉子的粗抽和前级同时打开（我在5.0-1E设定可以同时打开），在预热扩散泵约70分钟，油镜的油位约2分之1高度。打开主阀。等到了3.0 -2E ，充气。发现扩散泵油镜又回到了5分之1高度。搞不懂是什么原因。1扩散泵油怎么能这么大的变化是什么原因啊。2我炉子的压升率比较高和问题1 又直接联系吗？谢谢各位老师专家！我很着急！谢谢！

寒冰 · 发表于 2010-4-13 23:12:05

压升率高估计是密封不严，漏气造成的。你可以试一试低真空的压升率有没有变化。就可以判断与扩散泵有没有关系

lvdong2518 · 发表于 2010-4-20 16:43:45

高真空阀漏气了吧，拆了看一下

超级小菜鸟 · 发表于 2010-4-25 00:04:44

和泵没关系，油位高矮你因为抽真空造成的、

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