扩散泵的油温问题

13523700750 · 发表于 2011-4-30 23:16:13

本帖最后由 13523700750 于 2011-4-30 23:20 编辑

我公司的真空炉在抽真空的时候扩散泵的油温维持在240-260之间，最近抽真空的时候抽不上去。厂家来人说抽真空的快慢给那个油温有关系。不能太高也不能太低。不能理解给油温有什么关系？测压升率也可以，就是抽不到-2，还有就是抽完真空后关闭插板阀，但是出炉后需要打开插板阀，打开自动放气阀放机组后面的真空，放气阀打开没有反应，手动放完气，电阻规也显示不正常了以前是1.0的5次方，现在都是3次方4次方左右，这是什么原因，电阻规也没有坏，换新的还是一样。

13523700750 · 发表于 2011-5-1 09:28:10

怎么没有人回答啊

copper · 发表于 2011-5-1 09:57:28

那会不会是你的真空计有问题啊一般不会出现这种状况的啊

蓝梦飞 · 发表于 2011-5-3 13:08:11

本帖最后由蓝梦飞于 2011-12-9 13:36 编辑

建议对真空技进行校正，还有你的扩散泵油是不是很久没换了，估计氧化了，更换一下。

ulvacysj · 发表于 2011-5-13 09:54:47

具体的情况不是太清楚，但电阻规测的介质不一样显示的真空是不一样的，在大气下它是准的，如果换成氩气环境就不准了。
扩散泵处可以加一套测温控制系统，温度达到上限后断电，避免温度过高对真空的影响也能省电。

WANGBINGVAC · 发表于 2011-11-24 16:51:04

只要有足够的水冷，加热器有没有损坏，温度不会有什么问题，

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