退火温度对a-C:H 膜结构及摩擦学性能的影响

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【文章名称】：退火温度对a-C:H 膜结构及摩擦学性能的影响
【发表期刊】：《无机材料学报》  2011年2期
【作者】： 中国科学院兰州化学物理研究所   王永霞, 冶银平, 李红轩，等
【摘要】：为研究环境温度对含氢无定形碳(a-C:H)膜结构和性能的影响, 将a-C:H 膜在大气环境中进行高温退火处理,
并借助红外光谱、拉曼光谱、X 射线光电子能谱、3D 表面分析仪和球盘摩擦试验机等手段对退火前后a-C:H 膜的
结构、组成和性能进行了系统地考察。 研究发现, 在较低的退火温度下(300℃), a-C:H 膜结构无明显变化, 而其内应
力降低, 摩擦学性能显著提高; 在400℃和500℃下退火, 膜结构发生明显变化并伴随严重氧化, 同时摩擦学性能
降低甚至完全失效. 结果表明, 退火温度的选择对a-C:H 膜的结构、组成及性能具有重要影响.。
【关键词】：a-C:H 膜; 退火温度; 结构; 摩擦学性能