双层辉光离子渗金属技术特点

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【文章名称】：双层辉光离子渗金属技术特点
【发表期刊】：《中国工程科学》 2008年02期
【作者】：高原  徐晋勇  高清  安晋平  徐重 (桂林电子工业学院信息材料科学与工程系 太原理工大学表面工程研究所)
【摘要】：分析了双层辉光技术的特点,指出该技术在材料表面合金化方面,是一项适合于高熔点金属表面合金化和采用高熔点金属对铁基或某些熔点较高的有色金属材料进行表面合金化的工艺技术。
【关键词】：双层辉光离子渗金属技术 高熔点金属 空心阴极效应 阴极溅射 扩散 等离子表面合金化 合金元素 材料表面 异常辉光放电 离子轰击
【正文快照】：26中国工程科学1前言材料表面合金化技术[1]主要包括化学热处理,如采用固体、液体或气体进行的渗碳、渗氮、渗硫、渗金属等以及等离子化学热处理,如等离子渗碳、等离子渗氮、双层辉光离子渗金属等。等离子化学热处理是最近几十年才发展起来的一门新兴技术[2]。双层辉光离子渗