真空炉故障内容可能原因排除方法，如有不足希望大家补充

南京威途真空

温度控制失灵       
1.热电偶丝损坏 2.仪表出现故障       
解决方法1.检查热电偶，如有损坏需更换新的热电偶
2.如热电偶完好，需按仪表说明书进行检修
升温功率
达不到额定值        1.调压器出现故障 2.电热元件老化电阻升高       
解决方法1.按调压器说明书检修调压器 2.更换电热元件
绝缘电阻达不到使用要求       
1.电极吸附了导电尘埃 2.绝缘件被污染或损坏       
解决方法1.清除电极上的尘埃或对产生导电尘埃的零件进行更换 2.用酸液清洗绝缘件或更换绝缘件
热电偶烧毁       
1.热电偶与带电器件相碰 2.热电偶的密封不严       
解决方法1.检查热电偶是否与带电器件相碰，将其分开 2.检查热电偶的密封是松动或损坏，拧紧密封件或更换
达不到极限真空度或抽空时间明显变长
1.真空系统出现故障 2.炉体泄漏3.规管松动或损坏       
解决方法1.检查真空系统，维修或更换老化机组
2.检查炉体是否泄漏，密封泄漏的地方
3.更换新规管进行检查，看数值是否恢复正常
真空阀开关失灵       
1.压缩空气压力不够
2.阀体与阀芯卡死
3.电磁阀故障
4.润滑油不干净       
解决方法1.保证气压不小于0.5MPA
2.清理阀芯或更换损坏的部件
3.检修电磁阀，查看是否有振动引起电磁阀与壳体相对运动的情况，如有轻微松动可加橡胶垫压紧
4.确保过滤干净
旋片式真空泵故障       
1.不能启动 2.旋转方向不正确       
1.检查电机起动器开关的位置和过载保护装置与水冷开关，维修或更换损坏部件
2.按电机说明书更换三相电机电缆线的任意两相接线
罗茨真空泵故障
1.不动作
2.有异噪声
3.达不到真空度       
解决方法1.检查电机起动器开关的位置和过载保护装置，维修或更换损坏部件
2.齿轮精度不够，转子动平衡不好，轴承偏摆严重，维修或更换损坏部件
3.更换轴端密封，调正转子与端盖的间隙
炉盖锁紧圈转动不灵活        1.锁圈的6个支撑滚轮未均匀顶紧炉体法兰
2.支撑轮的轴承磨损太大        1.检修支撑滚轮，使其沿圆周均匀支撑
2.更换磨损的轴承
锁圈不能完全锁紧炉盖       
1.锁紧圈卡块未能与炉体法兰后端面贴紧
2.压缩空气气压不足
解决方法1.重新调整锁紧圈卡块位置，使锁紧圈与炉体法兰后端面完全贴紧
2.检查压缩空气气压是否大于0.5MP，如气压不足检查输气系体排除故障或更换能提供足够压力的新气泵