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查看: 16429|回复: 22

请教扩散泵抽不上真空

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该用户从未签到

发表于 2012-7-23 09:14:29 | 显示全部楼层 |阅读模式
北京中仪天信科技有限公司
请教一个问题,SECO的真空淬火炉,每次扩散泵一打开真空度就升上去了。机械泵和罗茨泵的前级管路应该没问题,他们能抽到0.01,只要扩散泵启动,真空度不将反升,导致主阀来回启动。测漏也测了,油也换了,请问可能是哪边的问题

签到天数: 65 天

[LV.6]常住居民II

发表于 2012-7-23 09:49:56 | 显示全部楼层
正好前段时间也遇到这种问题。
排查方法:1.怀疑扩散泵或主阀气缸有泄漏;
2.炉腔有泄漏;
我们主阀来回切换,最后是发现真空炉炉腔有个位置有泄漏。

该用户从未签到

发表于 2012-7-23 10:00:49 | 显示全部楼层
那应该是泵体本身的原因,是不是密封圈坏了。

该用户从未签到

发表于 2012-7-23 19:52:46 | 显示全部楼层
首先考虑炉子本身漏不漏 但是看你说机械泵都能抽下真空度 建议不启动扩散泵 先用机械泵抽了看看保压如何,如果没问题就说明扩散泵出问题了,气体回流速度大于抽气速度,泵里面的冷井工作正常吗?

签到天数: 1 天

[LV.1]初来乍到

发表于 2012-7-27 08:37:12 | 显示全部楼层
基本可以排除炉体本身不漏,楼主也说了。开两级泵都可以抽到0.01.但是不晓得这个数值是pa还是toor。因为1toor=133pa呢。你要是0.01toor那就是1.33pa。两级泵抽到如此那也是很好的数值了。故你的炉体是不漏的,问题还是出在你的扩散泵上。你开发阀门后,真空度不降反升。说明确实有漏。反复启动是因为扩散泵本身有一个启动的真空度要求。进口的国产的泵都有。真空度一般在2pa以内扩散泵才可以启动。所以你的真空度只要超过2pa以上,那这个高真空阀肯定就会关闭。所以你的问题出在高真空阀上。捡漏吧。真空氦气检漏。半小时搞定。谢谢!

该用户从未签到

 楼主| 发表于 2012-7-27 10:59:41 | 显示全部楼层
呵呵,有这么多人回复啊。单位是mbar,我们扩散泵的启动压力是小于0.2mbar。前级管路有漏气,不过不是太严重,能通过泄漏测试的。退一步来说,不至于扩散泵启动以后完全抵消,甚至超过扩散泵的抽力。感觉扩散泵的抽力应该比两前级泵强至少2个数量级的吧,有点纳闷。弱弱的问一下,扩散泵主阀密封圈漏气的话是怎么个漏气法?扩散泵和炉膛,相对来说不是一个一体密闭的空间吗?谢谢

签到天数: 46 天

[LV.5]常住居民I

发表于 2012-7-28 16:50:19 | 显示全部楼层
密封圈漏气就是高阀和炉体或冷井连接处的密封圈坏了,会发生漏气,但也不至于在炉体和高阀连接处啊,你最好还是检查冷井和扩散泵连接处有没有漏气

该用户从未签到

 楼主| 发表于 2012-7-31 16:05:22 | 显示全部楼层
feijuan 发表于 2012-7-28 16:50
密封圈漏气就是高阀和炉体或冷井连接处的密封圈坏了,会发生漏气,但也不至于在炉体和高阀连接处啊,你最好 ...

冷井和扩散泵连接处?不知道具体是哪部分...能帮我再解释一下吗?扩散泵内部的、?怎么检查?谢谢

签到天数: 1 天

[LV.1]初来乍到

发表于 2012-8-2 16:28:29 | 显示全部楼层
Shiryu 发表于 2012-7-31 16:05
冷井和扩散泵连接处?不知道具体是哪部分...能帮我再解释一下吗?扩散泵内部的、?怎么检查?谢谢

冷井和扩散泵连接处?不知道具体是哪部分...就是扩散泵和高真空阀之间有个通水的圆盘看到没呢。图片附上。

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该用户从未签到

 楼主| 发表于 2012-8-6 12:02:59 | 显示全部楼层
蓝梦飞 发表于 2012-8-2 16:28
冷井和扩散泵连接处?不知道具体是哪部分...就是扩散泵和高真空阀之间有个通水的圆盘看到没呢。图片附上。 ...

谢谢。     了解了   

该用户从未签到

发表于 2012-8-7 15:27:26 | 显示全部楼层
主阀气缸杆密封地方有问题 当缸杆在不同的位置 密封情况不一样 初步判断 主阀气缸杆下端密封面被破坏了

该用户从未签到

发表于 2012-8-8 18:55:20 | 显示全部楼层
Shiryu 发表于 2012-7-27 10:59
呵呵,有这么多人回复啊。单位是mbar,我们扩散泵的启动压力是小于0.2mbar。前级管路有漏气,不过不是太严重 ...

楼主你错了,泄露对真空是非常可怕的,1m3泄露的空气进入真空腔,会根据压力大小膨胀的,1托拉压力气体进入1mm Hg的压力时会膨胀 760倍!,你泵就算神仙也扛不住啊。。

该用户从未签到

发表于 2012-8-9 11:53:30 | 显示全部楼层
会不会是油扩的加热功率偏高或偏低??

签到天数: 65 天

[LV.6]常住居民II

发表于 2012-8-10 16:09:21 | 显示全部楼层
楼主的问题原因找到没有?如果解决了,要记得分享一下哟。

该用户从未签到

 楼主| 发表于 2012-8-10 17:12:16 | 显示全部楼层
congmingderen 发表于 2012-8-10 16:09
楼主的问题原因找到没有?如果解决了,要记得分享一下哟。

没有找到,也不知道怎么就好了 ,不过效率没以前好了....不敢拆扩散泵,怕回装更漏气...

签到天数: 65 天

[LV.6]常住居民II

发表于 2012-8-13 08:50:25 | 显示全部楼层
Shiryu 发表于 2012-8-10 17:12
没有找到,也不知道怎么就好了 ,不过效率没以前好了....不敢拆扩散泵,怕回装更漏气...

可以拆的,注意准备一些密封圈备件。不知道你们是哪种扩散泵?

该用户从未签到

发表于 2012-9-9 13:46:34 | 显示全部楼层
本帖最后由 cuckoo 于 2012-9-9 13:47 编辑

扩散泵的冷却效果可能不是太好了,用风扇一吹就好,不过不是长久之计,还没有找到解决办法。检漏也没有问题。

签到天数: 3 天

[LV.2]偶尔看看I

发表于 2012-10-12 16:09:53 | 显示全部楼层
可以将扩散泵部分拆开清洗一下,怀疑硅油不干净了
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签到天数: 7 天

[LV.3]偶尔看看II

发表于 2012-10-12 17:01:29 | 显示全部楼层
我们扩散泵直接不用..
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该用户从未签到

发表于 2012-10-12 17:40:37 | 显示全部楼层
基本是管路及接头有问题,仔细查一下。
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