Carlyle 发表于 2015-9-22 08:31:34

离子氮化气压的影响

离子氮化时，气压高辉光收缩集中，气压低辉光漫散
同时气压高会导致炉体内能量高，温度不好控制，这样说来气压高时离子溅射比较强一点，
但是从资料上却看到这么一句话“气压低表面溅射强。。。。。。。。。。”
表示不理解。
大家怎么看？

Carlyle 发表于 2015-9-22 11:06:15

人生路上 发表于 2015-9-22 09:51
离子氮化表面溅射跟电压有关系

电压高溅射强，这个应该没有什么疑问
现在想讨论一下，气压的影响

人生路上 发表于 2015-9-22 09:51:58

离子氮化表面溅射跟电压有关系

yhcyuan 发表于 2015-9-24 08:00:40

气压低时辉光层厚，离子的自由行程长，轰击阴极表面的离子动能大，表面溅射就强
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