周文斌 发表于 2008-10-18 10:37:03

关于磁控溅射镀膜设备

有哪位高人能告诉我感应加热电源，在磁控溅射镀膜设备中的配套作用是什么？具体加热的对象是什么啊？很着急，拜托了！:)

[ 本帖最后由 周文斌 于 2008-10-19 13:59 编辑 ]

火龙 发表于 2008-10-19 13:37:24

我认为你那个设备应该叫中频磁控溅射镀膜设备，在中频溅射的情况下，靶材上将加有频率为数十千赫兹（常用10-150kHz）的交变电压。对地来说，靶材周期性的处于高电位和低电位。当靶材处于低电位时，靶材吸引离子而排斥电子，在靶物质被溅射的同时，离子电荷可以在靶材表面积累下来；当靶材处于高电位时，靶材吸引电子而排斥离子。电子的流入将中和掉靶材表面的电荷积累，从而抑制了靶面的打火现象。所以不是去加热什么东西。

proteam 发表于 2008-10-19 13:45:37

这就是PECVD？等离子低温镀膜？

周文斌 发表于 2008-10-19 13:52:17

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到底是专家啊，十分感谢您的指点，这个问题已经弄清楚了，和您所说的完全符合，但是您说的更专业更详细，开始有人求购中频电源，我还以为是用于感应加热的，后来才知道不是一回事，仅仅是叫法类似，呵呵呵。

[ 本帖最后由 周文斌 于 2008-10-19 13:54 编辑 ]

火龙 发表于 2008-10-19 14:52:57

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不是！PECVD是等离子增强化学气相淀积，因为温度较低也叫等离子低温镀膜。中频磁控溅射镀膜是物理镀！
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