wang1981 发表于 2008-11-14 22:13:20

化学气相沉积制膜技术的应用与发展

化学气相沉积制膜技术的应用与发展
王豫" 水恒勇
（安徽工业大学冶金与材料学院，马鞍山!"#$$!）
摘要：化学气相沉积作为一种有效的表面工程技术手段，发展十分迅速，应用范围日趋广
泛。本文介绍了化学气相沉积制膜技术在国民经济各个领域中的应用及其发展趋
势。
关键词：化学气相沉积；薄膜；发展
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