wang1981 发表于 2008-11-15 17:59:33

化学气相沉积TiN薄膜组织性能研究

化学气相沉积TiN薄膜组织性能研究
王! 豫
（安徽工业大学! 安徽马鞍山&’())&）
摘! 要：研究了用化学相沉积方法在钢基体表面形成TiN薄膜的组织和性能结果表明，由于钢中的铁和碳
向膜层中扩散，膜层的组织中存在有少量的! * +,，而且薄膜的硬度与钢的含碳量有不可忽视的关
系。
关键词：氮化钛；薄膜；组织；性能
页: [1]
查看完整版本: 化学气相沉积TiN薄膜组织性能研究