求助！！！真空扩散泵问题
真空气淬。炉子最近发现压升率比较高，3.0 -2E很短的时间就掉到5.0 -1E。然后开始找问题。发现扩散泵 油镜的油位很低约 5分之1高度。但是分析一下，我炉子的高真空能进-2，压升率高就是炉子有漏啊。经过试验，我把炉子的粗抽和前级同时打开（我在5.0-1E设定可以同时打开），在预热扩散泵 约70分钟，油镜的油位约2分之1高度。打开主阀。等到了3.0 -2E，充气。发现扩散泵 油镜又回到了5分之1高度。搞不懂是什么原因。1扩散泵油怎么能这么大的 变化是什么原因啊。2我炉子的压升率比较高和问题1 又直接联系吗？ 谢谢各位老师专家！我很着急！谢谢！
页:
[1]