zhoiw 发表于 2011-2-11 09:40:37

热处理是否需要无油真空系统

目前大部分真空热处理炉采用时机械泵（滑阀泵）、罗茨泵、扩散泵系统，这种系统都属于有油的真空系统，会有油污染工作区及工件，在电子行业中已经广泛采用无油的真空系统，不知道热处理行业是否需要无油系统，希望高手发表一下观点！

弱智兔 发表于 2011-2-15 16:36:46

目前大多数真空热处理炉的工作真空度，只能算是低真空或粗真空，如果将物理气相沉积技术也列入真空热处理范畴的话，一些高级的PVD设备，会考虑到真空泵的返油问题，采用涡轮分子泵或溅射泵等来获取真空。
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