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Shiryu 发表于 2012-7-23 09:14:29

请教扩散泵抽不上真空

请教一个问题，SECO的真空淬火炉，每次扩散泵一打开真空度就升上去了。机械泵和罗茨泵的前级管路应该没问题，他们能抽到0.01，只要扩散泵启动，真空度不将反升，导致主阀来回启动。测漏也测了，油也换了，请问可能是哪边的问题

congmingderen 发表于 2012-7-23 09:49:56

正好前段时间也遇到这种问题。
排查方法：1.怀疑扩散泵或主阀气缸有泄漏；
2.炉腔有泄漏；
我们主阀来回切换，最后是发现真空炉炉腔有个位置有泄漏。

李晓敏 发表于 2012-7-23 10:00:49

那应该是泵体本身的原因，是不是密封圈坏了。

hitlinbo 发表于 2012-7-23 19:52:46

首先考虑炉子本身漏不漏 但是看你说机械泵都能抽下真空度 建议不启动扩散泵 先用机械泵抽了看看保压如何,如果没问题就说明扩散泵出问题了，气体回流速度大于抽气速度，泵里面的冷井工作正常吗？

蓝梦飞 发表于 2012-7-27 08:37:12

基本可以排除炉体本身不漏，楼主也说了。开两级泵都可以抽到0.01.但是不晓得这个数值是pa还是toor。因为1toor=133pa呢。你要是0.01toor那就是1.33pa。两级泵抽到如此那也是很好的数值了。故你的炉体是不漏的，问题还是出在你的扩散泵上。你开发阀门后，真空度不降反升。说明确实有漏。反复启动是因为扩散泵本身有一个启动的真空度要求。进口的国产的泵都有。真空度一般在2pa以内扩散泵才可以启动。所以你的真空度只要超过2pa以上，那这个高真空阀肯定就会关闭。所以你的问题出在高真空阀上。捡漏吧。真空氦气检漏。半小时搞定。谢谢！

Shiryu 发表于 2012-7-27 10:59:41

呵呵，有这么多人回复啊。单位是mbar，我们扩散泵的启动压力是小于0.2mbar。前级管路有漏气，不过不是太严重，能通过泄漏测试的。退一步来说，不至于扩散泵启动以后完全抵消，甚至超过扩散泵的抽力。感觉扩散泵的抽力应该比两前级泵强至少2个数量级的吧，有点纳闷。弱弱的问一下，扩散泵主阀密封圈漏气的话是怎么个漏气法？扩散泵和炉膛，相对来说不是一个一体密闭的空间吗？谢谢

feijuan 发表于 2012-7-28 16:50:19

密封圈漏气就是高阀和炉体或冷井连接处的密封圈坏了，会发生漏气，但也不至于在炉体和高阀连接处啊，你最好还是检查冷井和扩散泵连接处有没有漏气

Shiryu 发表于 2012-7-31 16:05:22

feijuan 发表于 2012-7-28 16:50 static/image/common/back.gif
密封圈漏气就是高阀和炉体或冷井连接处的密封圈坏了，会发生漏气，但也不至于在炉体和高阀连接处啊，你最好 ...

冷井和扩散泵连接处？不知道具体是哪部分...能帮我再解释一下吗？扩散泵内部的、？怎么检查？谢谢

蓝梦飞 发表于 2012-8-2 16:28:29

Shiryu 发表于 2012-7-31 16:05 static/image/common/back.gif
冷井和扩散泵连接处？不知道具体是哪部分...能帮我再解释一下吗？扩散泵内部的、？怎么检查？谢谢

冷井和扩散泵连接处？不知道具体是哪部分...就是扩散泵和高真空阀之间有个通水的圆盘看到没呢。图片附上。

Shiryu 发表于 2012-8-6 12:02:59

蓝梦飞 发表于 2012-8-2 16:28 static/image/common/back.gif
冷井和扩散泵连接处？不知道具体是哪部分...就是扩散泵和高真空阀之间有个通水的圆盘看到没呢。图片附上。 ...

谢谢。   了解了   

zhoiw 发表于 2012-8-7 15:27:26

主阀气缸杆密封地方有问题 当缸杆在不同的位置 密封情况不一样 初步判断 主阀气缸杆下端密封面被破坏了

hitlinbo 发表于 2012-8-8 18:55:20

Shiryu 发表于 2012-7-27 10:59 static/image/common/back.gif
呵呵，有这么多人回复啊。单位是mbar，我们扩散泵的启动压力是小于0.2mbar。前级管路有漏气，不过不是太严重 ...

楼主你错了，泄露对真空是非常可怕的，1m3泄露的空气进入真空腔，会根据压力大小膨胀的，1托拉压力气体进入1mm Hg的压力时会膨胀 760倍！，你泵就算神仙也扛不住啊。。

chanown 发表于 2012-8-9 11:53:30

会不会是油扩的加热功率偏高或偏低？？

congmingderen 发表于 2012-8-10 16:09:21

楼主的问题原因找到没有？如果解决了，要记得分享一下哟。

Shiryu 发表于 2012-8-10 17:12:16

congmingderen 发表于 2012-8-10 16:09 static/image/common/back.gif
楼主的问题原因找到没有？如果解决了，要记得分享一下哟。

没有找到，也不知道怎么就好了:L ，不过效率没以前好了....不敢拆扩散泵，怕回装更漏气...

congmingderen 发表于 2012-8-13 08:50:25

Shiryu 发表于 2012-8-10 17:12 static/image/common/back.gif
没有找到，也不知道怎么就好了 ，不过效率没以前好了....不敢拆扩散泵，怕回装更漏气...

可以拆的，注意准备一些密封圈备件。不知道你们是哪种扩散泵？

cuckoo 发表于 2012-9-9 13:46:34

本帖最后由 cuckoo 于 2012-9-9 13:47 编辑

扩散泵的冷却效果可能不是太好了，用风扇一吹就好，不过不是长久之计，还没有找到解决办法。检漏也没有问题。

炉子制造者 发表于 2012-10-12 16:09:53

可以将扩散泵部分拆开清洗一下，怀疑硅油不干净了

xiaowei181 发表于 2012-10-12 17:01:29

我们扩散泵直接不用..

热处理老宋 发表于 2012-10-12 17:40:37

基本是管路及接头有问题，仔细查一下。

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