陈飞 发表于 2012-10-14 09:07:32

如果两级泵可以达到0.01   可以考虑不用扩散泵

西渡高速钢 发表于 2013-3-9 01:05:28

本帖最后由 西渡高速钢 于 2013-3-9 01:05 编辑

谈一点我早年的经验，供参考：

1、机械泵和罗茨泵能抽到0.01，不说明前级管路漏气是否超标，你应该在炉子安装初期，进行过漏气速率测定的吧，现在，你应该重新测定一下漏气速率，如速率值接近原始漏气速率，才能说明炉子漏气在正常状态，否则，应认真检漏，并尽量恢复密封效果。

2、低真空度到位后，开启扩散泵抽高真空时，真空度不升反降，请按以下步骤查找原因：
    （1）、通扩散泵的管路要检漏；（2）扩散泵用的冷却水是否保证流量和冷却能力；（3）、扩散泵底部的圆盘电炉加热是否保证，可取下观察；（4）、若前面检查都正常，事情就麻烦多了，只有怀疑扩散泵口密封出问题了，必须拆卸扩散泵，检查密封圈是否老化开裂？是否真空硅胶碳化、固化？或者，扩散泵油吸收过多水分或老化等，散失抽气能力？

陈飞 发表于 2013-3-25 20:04:20

楼主问题解决没有啊？？
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